研究室紹介「内藤研究室」

表面を原子スケールで観察することのできる走査トンネル顕微鏡や走査電子顕微鏡等を用いて，炭素系新材料（カーボンナノチューブ，グラフェン，球状炭素粒子等）の作製・評価とデバイス応用に関する研究を行っています。

球状炭素粒子
　

シリコン表面上に作製された
金属一次元構造（赤矢印部分）

研究テーマ	環境に優しい半導体デバイス材料の開発
所属職員	内藤正路（教授）
キーワード	ナノテクノロジー，ナノ材料，半導体，グラフェン，カーボンナノチューブ，球状炭素粒子，一次元構造
URL	http://www.surf.ele.kyutech.ac.jp/